“这种问题的解决,大部分公司都是保密,毕竟这已经算作是光刻机制造的核心技术了。不过有一家能够制造5nm光刻机的公司倒是有过他们处理这个问题的方法,那就是采用全气动轴承设计。将机械运动之间的摩擦用空气代替,所以就有效的避免了由于轴承机械摩擦所带来的工艺误差。”叶良臣听到冯木的问题后,先是一惊,随后就认真的回答道。
“空气!”听到叶良臣的回答,冯木忍不住为想出这个方法的人拍案叫绝!
要知道空气是属于那种一直处于不增不减的状态,采取空气减少摩擦,那么就近乎于没有摩擦。
同种介质,并且处于同一宏观状态下,其中即便发生形变,也是在微观状态下发生形变,而这个微观的形变也达不到影响芯片制造的程度。
毕竟一个分子的直径大约就是零点一纳米罢了。
而平常机械摩擦主要是由于两种宏观物质,本身的摩擦系数不同,从而进行机械运动的不可避免的就会产生机械摩擦,至于空气阻力,在这种极为微的机械运动中,却是几乎可以忽略不计了。
“你别以为你知道采用空气就可以,其中还有很多难题没法解决。”看到冯木一脸惊叹的样子,叶良臣也是忍不住提醒道。
“我知道。”冯木点零头,示意自己自然是明白。
全气动轴承设计,那么其中的设计工艺该如何设计呢?机械进行运动的时候,又如何提供能量呢?如果依旧是采用现在普遍的铜线进行传递能源,也是会有损耗,一旦有了损耗,那么机械运动就会出现误差。
而光刻机最重要的一点就是不能出现误差,要求绝对的精准!
“不要急,我们总会能想出新的方法的。”似乎是害怕冯木就这样意志消沉的沉沦下去,叶良臣赶忙开口安慰道。
只是这句话的可信度到底有多高,两人心中都是极为明白的。
“嗯嗯,,我也相信我们一定可以制造出独属于我们国家的光刻机制造技术。”冯木也在给自己打气。
“好!”叶良臣自然不会打击冯木的积极性。
两人进了饭堂以后,叶良臣点了一份牛肉拉面,冯木则是更加习惯吃米饭,于是点了一份黄焖鸡米饭。
两人在饭堂的餐桌上,相对而坐,默默的吃着饭。
而冯木则是开始在弊站里面开始搜索,看有没有关于光刻机成熟的,甚至是超越国外设计的完整设计图。
在弊站中搜索光刻机设计图的时候,唰的一下,就挑出来许多信息。
冯木开始在这样排列好的信息里面开始寻找,冯木先是看到叶良臣所的全气动轴承设计的光刻机设计图。
只不过按照弊站中的描述,全气动轴承设计的光刻机即便是发展到最巅峰,也只不过能够达到2nm制程工艺,然后就无法继续突破了。
毕竟空气也是有影响的,随着精度的不断推进,空气的影响也就愈发明显了。
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